真空熱壓燒結爐的各種緊急事故處理

真空熱壓燒結爐主要用于半導體元器件及電力整流器件的燒結工藝，可進行真空燒結，氣體保護燒結及常規燒結。是半導體專用設備系列中一種新穎的工藝裝備，它設計構思新穎，操作方便，結構緊湊，在一臺設備上可完成多個工藝流程。亦可用于其他領域內的真空熱處理，真空釬焊等工藝。真空熱壓燒結爐使用有哪些注意事項？日常使用中有哪些應急計劃？

一，冷卻水異常

1、確認加熱電源已停止。

2、爐外發生漏水，冷卻水量異常時，應盡快采取應急措施，如能保證水量，請繼續保持真空，如不能采取應急措施，保持原狀，確認設備冷卻下來。

3、冷卻水發生異常時，設備處于停止狀態，馬上接通緊急用冷卻水。

4、在高溫(超過200℃即視為高溫)時，如果冷卻水停止了，如果不能緊急送水，水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵可能被損壞。

二，壓縮空氣的停止

1、壓縮空氣異常報警時，設備處于停止狀態，應盡快到備用的壓縮機房，讓其恢復工作。

2、真空中如壓縮空氣異常報警，且恢復需要較長時間時，則終止真空，讓設備停下來。

三，停電

1、停電時，如果斷水，應立即接通備用的冷卻水，接通水源。

2、如果在非升溫、加熱和冷卻時，能夠盡快恢復時，重新啟動設備，繼續運轉如需要較長時間，則將設備保持原狀。

3、如果正在加熱和冷卻時，能夠盡快恢復時，重新啟動設備，如果需要較長時間時，則保持原狀，讓設備自然冷卻下來。

四，加熱電源掉電

1、水壓低，當水壓低于0.15MPa，壓力表報警。

2、接地故障。

3、真空放電，水冷電極接頭與加熱器連接處必需連接牢固，與反射屏絕緣要好。

4、若爐內壓力為13.3-66.5Pa時(此真空度容易發生放電)。電源出現故障，掉電的原因可以認為由于電介質擊穿而引起的放電。

五，充氣氣體(氬氣或氮氣)停止

1、抽真空開始前，氣體充入時間長或者無法充入時，請確認氣體管路是否被堵塞。

2、如氣體管路沒問題，檢查電磁閥及氣體充氣閥的動作，為了安全與其相關聯的設備要全部停止后再進行檢查。

3、向真空室內充氣不能停止的情況下，泄壓閥動作如泄壓閥動作時，要關閉氣體供給閥及配管在內的所有氣體系統。

4、確認氣體充氣配管是否有漏氣的地方，如有會影響制品質量。

六，真空室壓力惡化

1、真空排氣時間比通常長時，應把設備停下來進行檢查，根據真空室內構造物不同狀態下放氣的影響，也有導致壓力升高的情況。

2、通過壓力上升測試或者用氦氣檢漏來確認是漏氣還有放氣的影響。

在真空和保護性氣氛中，對金屬、陶瓷及一些難熔金屬中間化合物粉末加熱燒結，要獲得一定密度和具有一定機械性能的材料時，一般采用兩種工藝;即有壓燒結和無壓燒結。有壓燒結工藝是將粉狀材料置于真空和保護性氣氛中的高碳模具中，高溫加熱到軟化狀態時，加壓成型。這種工藝需要一種真空熱壓燒結才能實現。該燒結爐具有溫度高、真空度高、熱壓力高的特點。

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